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光學真空鍍膜設備該如何進行保養
標簽: 真空鍍膜
2016-01-29  閱讀

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光學真空鍍膜設備主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組限及電柜(控制電柜、電子槍電樞)組成,其廣泛應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。光學真空鍍膜設備在防止油污染和縮短工作周期等方面具有卓越的性能。

光學真空鍍膜設備工作原理是在高真空狀態下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度,材料受熱后蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發源至被蒸發基片距離大,蒸發出來的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成臘層。

精密光學真空鍍膜設備在保養的時候有哪些保養方面的措施,下面的內容中我們就來了解。

一:定期更換擴散

真空鍍膜機擴散泵油使用一段時間,約二個月兩班:,因在長期高溫環境,雖然較高真空時才啟動擴散泵,但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應,擴散泵油在高溫下也可能產生裂解,使其品質下降,而延長抽氣時間。在我們認為時間延長得太多時,應予更換。

二:真空泵

真空鍍膜機機械泵油、維持泵油在使用二個月,油質會發生變化。因油可能抽入水分、雜質及其它原因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換。如為新設備,在使用頭半個月即應更換,因在磨合期,油含磨合鐵粉較多,會加劇磨損。

三:清潔衛生

定期將真空鍍膜設備及其周圍環境衛生搞好,常保持設備內外清潔,將真空鍍膜設備周圍環境整理有條,有一個好的工作環境,以保安全。

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