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蒸發鍍膜可以采用哪些蒸發源
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2023-01-11  閱讀

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  【康沃真空網】鍍膜行業中可以應用蒸發的方式實現薄膜沉積。利用這種薄膜沉積方法,將用于沉積的源材料在真空中蒸發,蒸汽粒子即可以自由地移動到基材的表面。在到達基材襯底時,蒸發的材料沉降并凝結回固態,在基材上形成薄膜。

  不同蒸發源的種類

  用于制造蒸發源的材料通常具有高熔點和低蒸氣壓。

  燈絲

  燈絲材質為鎢、鉬、鉭等高熔點金屬,一般將蒸發物質掛或放置在燈絲上,在真空中使大電流通過包含蒸發材料的燈絲,這些材料將被加熱到它們的熔點最終使其蒸發。

  坩堝

  用于蒸發薄膜沉積的坩堝由耐高溫材料制成,其材質包括鎢、鉬、鉭、及耐高溫的氧化鋁、石墨或氮化硼。通常,制造商需要根據要蒸發的材料來選擇不同的坩堝。

  蒸發舟

  蒸發舟是真空蒸發鋁材料的最佳熱蒸發源。通常舟形蒸發源是采用鎢材料制造的,現在蒸發舟亦由可導電的高性能陶瓷復合材料制成,使用的主要原材料是氮化硼和二硼化鈦,蒸發面可開槽或進行激光表面刻蝕,其性能可靠,蒸發率精確且使用壽命長。


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